Lâmpadas de aquecimento por infravermelho no Processamento Térmico Rápido (RTP) para wafers de semicondutores

O Processamento Térmico Rápido (RTP) utiliza lâmpadas de aquecimento infravermelho de halogênio de quartzo de resposta rápida como fonte de calor para aquecer uma bolacha inteira ou um material a uma faixa de temperatura de 300–1250°C em um período extremamente curto. Apresenta uma taxa de aquecimento excepcionalmente rápida, com um tempo típico de processamento térmico inferior a 1–2 minutos. Esse processo elimina defeitos internos na bolacha ou no material e melhora o desempenho do produto. Como o filamento de aquecimento da lâmpada infravermelha de halogênio é fabricado com fio de liga de tungstênio de grau industrial, seu tempo de resposta é inferior a 1 segundo. A utilização do controle em malha fechada PID permite uma precisão e uniformidade excepcionais no controle da temperatura, além de possibilitar a interrupção rápida do aquecimento para um resfriamento acelerado. O RTP é empregado em processos como oxidação, recozimento, formação de silicídeo metálico e Deposição Química em Fase Vapor Térmica Rápida (RTCVD).

Princípio de funcionamento central do RTP: um processo de aquecimento rápido, preciso e controlável

Fonte de calor: Lâmpadas de aquecimento por infravermelho de onda curta + Módulos personalizados de alta temperatura

A radiação infravermelha de onda curta (1,0–1,4 μm) emitida pelas lâmpadas de aquecimento infravermelho penetra na janela de quartzo transparente e irradia diretamente a superfície da bolacha. A área de irradiação deve abranger todo o tamanho da bolacha para garantir uma temperatura de aquecimento uniforme. A superfície da bolacha absorve a energia infravermelha e aquece rapidamente, atingindo tipicamente taxas de aquecimento de 100 °C/s a 400 °C/s.

Lâmpadas infravermelhas de halogênio de onda curta de tubo único são amplamente utilizadas em aplicações industriais de aquecimento rápido de alta eficiência. A lâmpada IR halógena é fabricada com um único tubo de quartzo. O filamento de aquecimento é feito de liga de tungstênio. Disponibilizamos tubos de quartzo individuais com diâmetros de 10 mm, 11 mm, 12 mm, 14 mm, 15 mm e 19 mm, atendendo às diferentes necessidades dos clientes. O comprimento total da lâmpada IR de tubo único pode chegar a 2,5 metros. Para melhor transmitir e concentrar a radiação IR emitida pela lâmpada sobre o material a ser aquecido, um refletor especial dourado ou branco é aplicado e fixado diretamente na superfície do tubo de quartzo.

A lâmpada de aquecimento por infravermelho de onda curta pode ser projetada com alta potência de aquecimento; a faixa de comprimento de onda da radiação é de 1,0–1,4 μm, sendo particularmente adequada para processos de aquecimento de resposta rápida. A radiação infravermelha de onda curta penetra mais profundamente nos materiais, permitindo que estes atinjam a eficiência plena da radiação infravermelha em questão de segundos. Além disso, apresenta as seguintes vantagens:

1. Tempo de resposta rápido: a temperatura de aquecimento pode subir e descer rapidamente.

2. Ao serem combinadas com o módulo de reflexão, as lâmpadas IR podem operar em uma área reduzida, seja concentrando a luz ou realizando irradiação paralela.

3. A lâmpada não entra em contato com o objeto aquecido e pode ser utilizada em um ambiente limpo e sem riscos nocivos.

4. A lâmpada de trabalho não é afetada pela atmosfera nem pelo ambiente externo e pode ser utilizada em um forno a vácuo.

5. O interior dos filamentos pode ser projetado para aquecer até 2200°C ou mais, de modo que os objetos possam ser aquecidos até 1000°C ou mais, dependendo do material e do tamanho a serem aquecidos.

Lâmpadas de aquecimento com emissor de infravermelho de onda curta de tubo duplo são amplamente utilizadas em aplicações industriais de aquecimento rápido e de alta eficiência. A lâmpada IR é fabricada com tubo duplo de quartzo. O filamento de aquecimento é feito de liga de tungstênio. Disponibilizamos tubos duplos de quartzo nas dimensões 23×11 mm e 33×15 mm, de acordo com as necessidades dos clientes. O comprimento total da lâmpada IR de tubo duplo pode chegar a 6,0 metros. Para melhor transmitir e concentrar a radiação IR emitida pela lâmpada sobre o material a ser aquecido, um refletor especial dourado ou branco é aplicado e fixado diretamente na superfície do quartzo.

De acordo com a configuração dos diferentes projetos de filamento de aquecimento e dos cabos de terminação, a lâmpada infravermelha de tubo duplo pode ser produzida nas seguintes configurações comuns de filamento.

1: Os cabos podem ser de conexão em um lado ou de conexão em dois lados.

2: Comprimento de aquecimento diferente projetado para fins de aquecimento parcial

3: O comprimento pode chegar a 6 metros e é amplamente utilizado em processos industriais de aquecimento, como o corte de vidro, a conformação ou laminação de plásticos, a pintura automotiva, entre outros.

Somos um fabricante personalizado de lâmpadas de aquecimento por infravermelhos e também oferecemos um serviço completo para a sua solução de aquecimento. Seja bem-vindo a consultar nossas lâmpadas de aquecimento por infravermelhos de alta eficiência. Caso necessite de lâmpadas IR de tubo duplo com outras especificações, consulte o desenho técnico em anexo e entre em contato conosco para confirmação.